气动比例伺候阀驱动机构有机械式、气压式和电磁式三种，以电磁式为普遍。在没有输入信号时，控制阀的可动部件由弹性元件使其处于中位也称零位，这时阀的输出功率为零。
机械式驱动机构是以机械力促使可动部件移动，通过弹性元件将机械力转化为可动部件的位移。
气压式和电磁式驱动机构分别以气压力和电磁力作用在可动部件上，也是通过弹性元件转变为位移，电磁式驱动机构统称为电-机械转换器，其典型代表有比例电磁铁、极化式力马达和极化式力矩马达。
气动放大器对输出气流的压力、流量和功率进行控制。常采用三种控制原理：1节流控制 2能量控制与分配控制 3脉宽调制控制，以节流控制原理工作的气动放大器，通过改变可动部件的位置来调节节流面积，从而控制通过放大器的气体流量和压力。这类放大器有滑阀、喷嘴挡板阀等
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