1）由系统外部通过空压机等吸入的污染物
这些污染物可通过空压机吸入气动系统内。空压机的吸入口通常装有过滤器，但2~5μm以下的尘埃仍会被吸入空压机内。特别是在重化学工业区，会含有SO2、H2S等污染物被空压机吸入，压缩后其浓度增大约8倍，将对下游的气动元件造成腐蚀。即使在停机时，外界的污染物也会从阀的排气口进入系统内部。
2）有系统内部产生的污染物
如：湿空气被压缩、冷却，就会出现冷凝水；压缩机油在高温下会变成焦油状物质；管道内部会产生绣屑；相对运动件磨损而产生金属粉末和橡胶细末；密封和过滤材料的细末等。
3）系统安装和维修时产生的污染物
如：维修时末清除掉的螺纹牙屑、毛刺、纱头、焊接氧化皮、铸砂、密封材料碎片等。
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